2004年東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了。同年、同ナノメカニクス専攻助手。2007年東北大学産学官連携推進本部助教。2010年東北大学マイクロシステム融合研究開発センター准教授、2021年同教授、センター長。MEMS、とくに半導体微細加工プロセスに関する研究に従事しているほか、2010年からは東北大学試作コインランドリの長として半導体微細加工共用施設の運営を行っている。2022年より文科省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域代表・東北大ハブ長として、設備とデータの共用事業に取り組んでいる。半導体人材育成においては、2024年よりLSTCを兼業して大学・地域・産業連携WGの座長を務めるほか、東北大学半導体クリエイティビティハブ（S-Hub）のハブ長、さらに文科省enSETの東北拠点長も務めている。

1991年豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程修了（工学博士）。静岡大学電子工学研究所助手を経て、1998年より豊橋技術科学大学・講師、准教授を歴任し、2007年より同大教授。2005年ミュンヘン工科大学客員教授。
2016年よりエレクトロニクス先端融合研究所（EIIRIS/アイリス）所長、2023年組織改組により次世代半導体・センサ科学研究所（IRES²/アイリス）所長。
2009年電気学会電気学術振興賞受賞、2013年文部科学大臣表彰科学技術賞受賞、2026年電気学会業績賞受賞。
専門は半導体材料、デバイス、センサ、集積回路。LSIとセンサ技術を融合したスマートセンサや集積化バイオセンサの研究に従事。

1988年九州大学大学院電気工学専攻修了後、日本電気株式会社に入社し、同社マイクロエレクトロニクス研究所で半導体集積回路の研究開発に従事。スタンフォード大学客員研究員を経て、1999年よりシリコンシステム研究所主任研究員として先端LSI開発に携わる。2001年九州工業大学マイクロ化総合技術センターに着任、2006年教授、2018年よりセンター長。現在、学長特別補佐（半導体人材育成・イノベーション推進特区担当）として、半導体製造一貫設備を利用した人材育成事業や九州地域における産学官連携活動を推進している。